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人员:王晓浩董瑛张旻钱翔

简介:

微机电系统技术(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)代表着一种新的制造技术和新型的器件与产品。MEMS技术学科交叉性强,应用非常广泛。MEMS器件具有微型化、集成化和智能化的特点。目前MEMS产品已成功应用在汽车电子、投影显示、喷墨打印、医学检测、药物研制、光通信、消费电子等领域,近年来又以强劲势头进入物联网和可穿戴设备领域。先进制造学部MEMS实验室的主要研究方向包括:基于MEMS技术的新型微纳器件,面向人体生理参数检测的MEMS传感器,面向可穿戴系统的MEMS器件,微流体控制技术与器件、微纳米加工技术等。

代表性成果:

基于MEMS的多生理参数传感及系统

      基于MEMS传感阵列的血糖、血氧饱和度、心率、体温、血压、呼吸等生理指标检测技术。集成多传感器器件、信号处理和数据处理模块、通讯系统的可穿戴系统研究

无创血糖检测技术

      自2005年开始进行无创血糖检测技术的研究,研发了基于代谢热和阻抗谱的多参数融合方法的无创血糖检测仪,已研制出了样机,并已进行了数百例临床实验。

基于MEMS传感器的脉搏波检测技术

脉搏波是心脏间歇性射血产生的从主动脉根部出发沿着动脉管系传播的压力波、流量(容积)波或振动波
脉搏波具有信号弱、频率低、变异性、易受干扰等特点

           脉搏压力波实验检测系统由MEMS压力传感器,PDMS封装,弹性腕带组成

触觉传感

使用传感器集成技术实现压力、温湿度、表面纹理、滑觉、接近的同时感知


用于3D触控的全透明石墨烯压力传感器


高通量微喷分样仪

针对高通量生化分析与药物筛选,研究微液滴阵列打印与检测技术,研究基于UV-LIGA的自补充微喷单元阵列制备技术,实现与384孔板兼容的高通量并行分样,分样精度小于50nL


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